Tetrakis(dimethylamido)titanium
http://dbpedia.org/resource/Tetrakis(dimethylamido)titanium an entity of type: Thing
Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (englisch metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der mit der Konstitutionsformel [(CH3)2N]4Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) is a chemical compound. The compound is generally classified as a metalorganic species, meaning that its properties are strongly influenced by the organic ligands but the compound lacks metal-carbon bonds. It is used in chemical vapor deposition to prepare titanium nitride (TiN) surfaces and in atomic layer deposition as a titanium dioxide precursor. The prefix "tetrakis" refers the presence of four of the same ligand, in this case dimethylamides.
rdf:langString
El tetrakis (dimetilamino) titanio, o TDMAT, es un compuesto químico cuya fórmula es Ti[N(CH3)2]4, a menudo escrita Ti(NMe2)4, donde Me representa los grupos metilos: –CH3. El prefijo tetrakis indica la presencia de cuatro ligandos idénticos, en este caso la dimetilamina: –N(CH3)2. Se presenta como un líquido amarillo bastante volátil y muy tóxico. Si bien carece de un enlace metal-carbono, generalmente se considera, por abuso del lenguaje, que se trata de un compuesto organometálico, debido a que sus propiedades están fuertemente condicionadas por la presencia de ligandos orgánicos. La molécula presenta una geometría tetraédrica y es diamagnética.
rdf:langString
Le tétrakis(diméthylamino)titane, ou TDMAT, est un composé chimique de formule Ti[N(CH3)2]4, souvent écrite Ti(NMe2)4, où Me représente les groupes méthyle –CH3. Le préfixe tétrakis indique la présence de quatre ligands identiques, en l'occurrence de diméthylamine –N(CH3)2. Il se présente sous la forme d'un liquide jaune assez volatil et très toxique. Bien qu'il soit dépourvu de liaison carbone–métal, on considère généralement par abus de langage qu'il s'agit d'un composé organométallique car ses propriétés sont fortement conditionnées par la présence de ligands organiques. La molécule présente une géométrie tétraédrique et est diamagnétique.
rdf:langString
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titan
rdf:langString
Tetrakis (dimetilamino) titanio
rdf:langString
Tétrakis(diméthylamino)titane
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamido)titanium
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titanium
rdf:langString
(IV)
rdf:langString
rdf:langString
Tetrakistitanium
xsd:integer
14104872
xsd:integer
1118575997
rdf:langString
Ti4.png
rdf:langString
Stereo wireframe model of tetrakistitanium
xsd:integer
150
rdf:langString
Titanium dimethylamide
rdf:langString
Tetrakistitanium
rdf:langString
Dimethyl[tristitanio]amine
rdf:langString
changed
xsd:integer
470604591
rdf:langString
changed
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (englisch metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der mit der Konstitutionsformel [(CH3)2N]4Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.
rdf:langString
El tetrakis (dimetilamino) titanio, o TDMAT, es un compuesto químico cuya fórmula es Ti[N(CH3)2]4, a menudo escrita Ti(NMe2)4, donde Me representa los grupos metilos: –CH3. El prefijo tetrakis indica la presencia de cuatro ligandos idénticos, en este caso la dimetilamina: –N(CH3)2. Se presenta como un líquido amarillo bastante volátil y muy tóxico. Si bien carece de un enlace metal-carbono, generalmente se considera, por abuso del lenguaje, que se trata de un compuesto organometálico, debido a que sus propiedades están fuertemente condicionadas por la presencia de ligandos orgánicos. La molécula presenta una geometría tetraédrica y es diamagnética. TDMAT es empleado en la deposición química de vapor (CVD, por sus siglas en inglés) para obtener capas delgadas de nitruro de titanio (TiN), o incluso en la deposición de capa atómica (ALD, por sus siglas en inglés) como precursor del dióxido de titanio: TiO2. Se obtiene a partir del tetracloruro de titanio: TiCl4 y el dimetilamiduro de litio: 3LiN(CH3)2: TiCl4 + 4 LiNMe2 → Ti(NMe2)4 + 4 LiCl Al igual que muchos otros , el TDMAT es muy sensible al agua. Su manipulación debe hacerse en una atmósfera protectora. Los productos obtenidos de la hidrólisis del TDMAT son el dióxido de titanio (TiO2) y la dimetilamina: HN(CH3)2: Ti(NMe) + 2 H2O → TiO2 + 4 HNMe2 Del mismo modo, el TDMAT puede reaccionar con otras aminas y liberar dimetilamina.
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) is a chemical compound. The compound is generally classified as a metalorganic species, meaning that its properties are strongly influenced by the organic ligands but the compound lacks metal-carbon bonds. It is used in chemical vapor deposition to prepare titanium nitride (TiN) surfaces and in atomic layer deposition as a titanium dioxide precursor. The prefix "tetrakis" refers the presence of four of the same ligand, in this case dimethylamides.
rdf:langString
Le tétrakis(diméthylamino)titane, ou TDMAT, est un composé chimique de formule Ti[N(CH3)2]4, souvent écrite Ti(NMe2)4, où Me représente les groupes méthyle –CH3. Le préfixe tétrakis indique la présence de quatre ligands identiques, en l'occurrence de diméthylamine –N(CH3)2. Il se présente sous la forme d'un liquide jaune assez volatil et très toxique. Bien qu'il soit dépourvu de liaison carbone–métal, on considère généralement par abus de langage qu'il s'agit d'un composé organométallique car ses propriétés sont fortement conditionnées par la présence de ligands organiques. La molécule présente une géométrie tétraédrique et est diamagnétique. Le TDMAT est utilisé en dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour obtenir des couches minces de nitrure de titane TiN, ou encore en dépôt de couches atomiques (ALD) comme précurseur du dioxyde de titane TiO2. On l'obtient à partir de tétrachlorure de titane TiCl4 et de diméthylamidure de lithium LiN(CH3)2 : TiCl4 + 4 LiNMe2 → Ti(NMe2)4 + 4 LiCl. Comme de nombreux autres amidures, le TDMAT est très sensible à l'eau et sa manipulation doit se faire sous atmosphère protectrice. Les produits ultimes de l'hydrolyse du TDMAT sont le dioxyde de titane TiO2 et la diméthylamine HN(CH3)2 : Ti(NMe2)4 + 2 H2O → TiO2 + 4 HNMe2. De la même manière, le TDMAT peut réagir avec d'autres amines et libérer de la diméthylamine.
xsd:nonNegativeInteger
3727
rdf:langString
Titanium(IV) dimethylamide
rdf:langString
Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)
rdf:langString
Dimethyl[tris(dimethylamino)titanio]amine