Nanolithography
http://dbpedia.org/resource/Nanolithography an entity of type: Organisation
Nanolitografie je odvětví nanotechnologie, které se zabývá studiem a přípravou struktur v nanometrovém rozlišení, tedy objekty, jejichž alespoň jeden rozměr leží v oblasti od velikosti atomu do 100 nm. Nanolitografie se používá při výrobě špičkových integrovaných obvodů nebo mikroelektromechanických systémů (MEMS) respektive nanoelektromechanických systémů (NEMS) .
rdf:langString
Als Nanolithografie oder Nanolithographie bezeichnet man Verfahren, die sich prinzipiell zur Erzeugung von Strukturen in der Größenordnung weniger Nanometer eignen. Dazu gehören beispielsweise die EUV-, Elektronenstrahl- und Nanoprägelithografie. Sie werden dort eingesetzt, wo eine Strukturierung mit Hilfe konventioneller Fotolithografie nicht mehr möglich ist und sollen diese daher künftig bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen ablösen. Weitere Anwendungsbereiche liegen im Bereich der Nanotechnologie, beispielsweise bei der Herstellung von Mikrosystemen, wie .
rdf:langString
La nanolitografía o litografía a la escala del nanómetro, se refiere a la fabricación de microestructuras con un tamaño de escala que ronda los nanómetros. Esto implica la existencia de patrones litografiados en los que, al menos, una de sus dimensiones longitudinales es del tamaño de átomos individuales y aproximadamente del orden de 10 nm. La nanolitografía se usa durante la fabricación de circuitos integrados de semiconductores o , conocidos como Nanoelectromechanical Systems o NEMS.
rdf:langString
Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.
rdf:langString
ナノリソグラフィ (Nanolithography) はナノテクノロジーの一分野で原子から約100 nmの規模のナノメートルスケールの構造体やパターンの形成に用いられる。ナノリソグラフィは最先端の半導体集積回路（）やナノ電気機械システム (NEMS) の製造で活用される。 2015年時点においてナノリソグラフィは学術と産業分野において活動の盛んな領域である。
rdf:langString
Nanolitografia é um ramo da nanotecnologia, que lida com o estudo, fabricação e aplicação de estruturas em escala nanométrica, ou seja, modelos com pelo menos uma dimensão lateral entre o tamanho de um único átomo a até cerca de 100 nm. A nanolitografia é utilizada na fabricação de circuitos semicondutores de ponta integrada (nanocircuito) ou sistemas nanoeletromecânicos (NEMS).
rdf:langString
Nanolitografi (Nanoimprint litography, NIL) är en metod för att framställa mönster i storleksordningen nanometer. Mönstret "trycks" in i ett substrat med hjälp av en mall. Substratet kan behandlas med flera olika tekniker. NIL kan användas för att framställa bland annat elektronisk och optisk utrustning som till exempel transistorer och lysdioder.
rdf:langString
يشير مصطلح الطباعة الحجرية النانوية(بالإنجليزية: Nanolithography)إلى عملية تصنيع الهياكل والأجسام على المستوى النانوي، ونقصد بتلك الهياكل كل النماذج ذات أحد الأبعاد الجانبية على الأقل يتراوح حجمها بين ذرةٍ واحدةٍ و100 نانومتراً تقريباً. حيث تستخدم الطباعة الحجرية النانوية في أثناء عملية تصنيع دارات أشباه الموصلات المتكاملة (بالإنجليزية: semiconductor integrated circuits) (دوائر النانو) (بالإنجليزية: nanocircuitry) أو في تصنيع الأنظمة النانوية الكهروميكانيكية (بالإنجليزية: nanoelectromechanical systems).
rdf:langString
Η νανολιθογραφία (Nanolithography) είναι ένας αναπτυσσόμενος τομέας τεχνικών στη νανοτεχνολογία που ασχολείται με τη μηχανική (χάραξη, γραφή, εκτύπωση) δομών κλίμακας νανομέτρου. Ετυμολογικά, ο τεχνικός όρος, σε απλή ελληνική σημαίνει: «μικροσκοπικό γράψιμο πάνω στην πέτρα». Έχει ποικίλες εφαρμογές στις μέρες μας (φωτοβολταϊκά, ηλεκτρονικά υλικά κ.α.).
rdf:langString
Con il termine nanolitografia ci si riferisce alla fabbricazione di strutture su scala nanometrica, vale a dire a modelli con almeno una dimensione laterale compresa tra la grandezza di un singolo atomo e quella di circa 100 nm. La nanolitografia viene utilizzata nella fabbricazione della nanocircuiteria d'avanguardia di circuiti integrati semiconduttori o di sistemi nanoelettromeccanici (NEMS). La nanolitografia è quel ramo della nanotecnologia che si occupa dello studio e applicazione della fabbricazione di strutture su scala nanometrica come i circuiti semiconduttori.
rdf:langString
Нанолитография — это область техники в нанотехнологиях, связанная с разработкой (травление, письмо, печать) структур нанометрового масштаба. В переводе с греческого это слово можно разделить на три части: «нано» — карлик, «лит» — камень и «графи» — писать или «крошечные буквы на камне». Сегодня это слово расширилось, чтобы охватывать проектирование структур в диапазоне от 10 −9 до 10 −6 метров или структур в нанометровом диапазоне. По сути, это поле является производным литографии, охватывающим только структуры значительно меньшего размера. Все нанолитографические методы можно разделить на две категории: те, которые вытравливают молекулы, оставляя желаемую структуру, и те, которые непосредственно записывают желаемую структуру на поверхность (аналогично тому, как 3D-принтер создает структур
rdf:langString
rdf:langString
طباعة حجرية نانوية
rdf:langString
Nanolitografie
rdf:langString
Nanolithografie
rdf:langString
Νανολιθογραφία
rdf:langString
Nanolitografía
rdf:langString
Nanolitografia
rdf:langString
ナノリソグラフィ
rdf:langString
Nanolithography
rdf:langString
Нанолитография
rdf:langString
Nanolitografia
rdf:langString
Nanolitografi
xsd:integer
2104510
xsd:integer
1101785966
rdf:langString
Nanolitografie je odvětví nanotechnologie, které se zabývá studiem a přípravou struktur v nanometrovém rozlišení, tedy objekty, jejichž alespoň jeden rozměr leží v oblasti od velikosti atomu do 100 nm. Nanolitografie se používá při výrobě špičkových integrovaných obvodů nebo mikroelektromechanických systémů (MEMS) respektive nanoelektromechanických systémů (NEMS) .
rdf:langString
Als Nanolithografie oder Nanolithographie bezeichnet man Verfahren, die sich prinzipiell zur Erzeugung von Strukturen in der Größenordnung weniger Nanometer eignen. Dazu gehören beispielsweise die EUV-, Elektronenstrahl- und Nanoprägelithografie. Sie werden dort eingesetzt, wo eine Strukturierung mit Hilfe konventioneller Fotolithografie nicht mehr möglich ist und sollen diese daher künftig bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen ablösen. Weitere Anwendungsbereiche liegen im Bereich der Nanotechnologie, beispielsweise bei der Herstellung von Mikrosystemen, wie .
rdf:langString
يشير مصطلح الطباعة الحجرية النانوية(بالإنجليزية: Nanolithography)إلى عملية تصنيع الهياكل والأجسام على المستوى النانوي، ونقصد بتلك الهياكل كل النماذج ذات أحد الأبعاد الجانبية على الأقل يتراوح حجمها بين ذرةٍ واحدةٍ و100 نانومتراً تقريباً. حيث تستخدم الطباعة الحجرية النانوية في أثناء عملية تصنيع دارات أشباه الموصلات المتكاملة (بالإنجليزية: semiconductor integrated circuits) (دوائر النانو) (بالإنجليزية: nanocircuitry) أو في تصنيع الأنظمة النانوية الكهروميكانيكية (بالإنجليزية: nanoelectromechanical systems). ومن ثم تمثل الطباعة الحجرية النانوية ذلك الفرع من تقانة الصغائر، والذي يتناول دراسة وتطبيق الهياكل النانوية ومنها دارات أشباه الموصلات (بالإنجليزية: semiconductor circuit). حيث أصبح مجال الطباعة النانوية الحجرية مجالاً خصباً وثرياً للبحث الأكاديمي والصناعي منذ عام 2007 م.
rdf:langString
Η νανολιθογραφία (Nanolithography) είναι ένας αναπτυσσόμενος τομέας τεχνικών στη νανοτεχνολογία που ασχολείται με τη μηχανική (χάραξη, γραφή, εκτύπωση) δομών κλίμακας νανομέτρου. Ετυμολογικά, ο τεχνικός όρος, σε απλή ελληνική σημαίνει: «μικροσκοπικό γράψιμο πάνω στην πέτρα». Σήμερα, η νανολιθογραφία έχει εξελιχθεί για να καλύψει το σχεδιασμό δομών που κυμαίνονται από τη νανοκλίμακα (1nm) έως και τη μικροκλίμακα (1μm), ή κατασκευές που βρίσκονται στην περιοχή νανομέτρων. Ουσιαστικά, το πεδίο είναι παράγωγο της λιθογραφίας, καλύπτοντας μόνο σημαντικά μικρότερες δομές. Όλες οι νανολιθογραφικές τεχνικές μπορούν να χωριστούν σε δύο κατηγορίες: αυτές που «χαράζουν μόρια» αφήνοντας πίσω την επιθυμητή δομή και εκείνες που γράφουν άμεσα την «επιθυμητή δομή σε μια επιφάνεια», παρόμοια με τον τρόπο που ένας δημιουργεί μια δομή. Το πεδίο της νανολιθογραφίας γεννήθηκε λόγω της ανάγκης αύξησης του αριθμού των τρανζίστορ σε ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα προκειμένου να διατηρηθεί ο Νόμος του Μουρ. Ενώ οι λιθογραφικές τεχνικές υπάρχουν από τα τέλη του 18ου αιώνα, καμία δεν εφαρμόστηκε σε δομές νανοκλίμακας μέχρι τα μέσα της δεκαετίας του 1950. Με την εξέλιξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η ζήτηση για τεχνικές ικανές να παράγουν δομές μικρο- και νανο- κλίμακας αυξήθηκε στα ύψη. Η φωτολιθογραφία εφαρμόστηκε σε αυτές τις δομές για πρώτη φορά το 1958 ξεκινώντας την εποχή της νανολιθογραφίας. Έκτοτε, η φωτολιθογραφία έχει γίνει η πιο εμπορικά επιτυχημένη τεχνική, ικανή να παράγει μοτίβα κάτω των 100 nm. Υπάρχουν πολλές τεχνικές που σχετίζονται με τον τομέα, καθεμία από τις οποίες έχει σχεδιαστεί για να εξυπηρετεί τις πολλές χρήσεις της στον κλάδο της ιατρικής και των ημιαγωγών. Οι καινοτομίες σε αυτόν τον τομέα συμβάλλουν σημαντικά στην πρόοδο της νανοτεχνολογίας και είναι ολοένα και πιο σημαντικές σήμερα καθώς αυξάνεται η ζήτηση για μικρότερα και μικρότερα τσιπ υπολογιστών. Περαιτέρω τομείς της έρευνας ασχολούνται με φυσικούς περιορισμούς του πεδίου, τη συλλογή ενέργειας και τη φωτονική. Έχει ποικίλες εφαρμογές στις μέρες μας (φωτοβολταϊκά, ηλεκτρονικά υλικά κ.α.).
rdf:langString
La nanolitografía o litografía a la escala del nanómetro, se refiere a la fabricación de microestructuras con un tamaño de escala que ronda los nanómetros. Esto implica la existencia de patrones litografiados en los que, al menos, una de sus dimensiones longitudinales es del tamaño de átomos individuales y aproximadamente del orden de 10 nm. La nanolitografía se usa durante la fabricación de circuitos integrados de semiconductores o , conocidos como Nanoelectromechanical Systems o NEMS.
rdf:langString
Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.
rdf:langString
ナノリソグラフィ (Nanolithography) はナノテクノロジーの一分野で原子から約100 nmの規模のナノメートルスケールの構造体やパターンの形成に用いられる。ナノリソグラフィは最先端の半導体集積回路（）やナノ電気機械システム (NEMS) の製造で活用される。 2015年時点においてナノリソグラフィは学術と産業分野において活動の盛んな領域である。
rdf:langString
Con il termine nanolitografia ci si riferisce alla fabbricazione di strutture su scala nanometrica, vale a dire a modelli con almeno una dimensione laterale compresa tra la grandezza di un singolo atomo e quella di circa 100 nm. La nanolitografia viene utilizzata nella fabbricazione della nanocircuiteria d'avanguardia di circuiti integrati semiconduttori o di sistemi nanoelettromeccanici (NEMS). La nanolitografia è quel ramo della nanotecnologia che si occupa dello studio e applicazione della fabbricazione di strutture su scala nanometrica come i circuiti semiconduttori. Dal 2007 la nanolitografia è un settore di ricerca molto attivo nelle università e nell'industria.
rdf:langString
Nanolitografia é um ramo da nanotecnologia, que lida com o estudo, fabricação e aplicação de estruturas em escala nanométrica, ou seja, modelos com pelo menos uma dimensão lateral entre o tamanho de um único átomo a até cerca de 100 nm. A nanolitografia é utilizada na fabricação de circuitos semicondutores de ponta integrada (nanocircuito) ou sistemas nanoeletromecânicos (NEMS).
rdf:langString
Nanolitografi (Nanoimprint litography, NIL) är en metod för att framställa mönster i storleksordningen nanometer. Mönstret "trycks" in i ett substrat med hjälp av en mall. Substratet kan behandlas med flera olika tekniker. NIL kan användas för att framställa bland annat elektronisk och optisk utrustning som till exempel transistorer och lysdioder.
rdf:langString
Нанолитография — это область техники в нанотехнологиях, связанная с разработкой (травление, письмо, печать) структур нанометрового масштаба. В переводе с греческого это слово можно разделить на три части: «нано» — карлик, «лит» — камень и «графи» — писать или «крошечные буквы на камне». Сегодня это слово расширилось, чтобы охватывать проектирование структур в диапазоне от 10 −9 до 10 −6 метров или структур в нанометровом диапазоне. По сути, это поле является производным литографии, охватывающим только структуры значительно меньшего размера. Все нанолитографические методы можно разделить на две категории: те, которые вытравливают молекулы, оставляя желаемую структуру, и те, которые непосредственно записывают желаемую структуру на поверхность (аналогично тому, как 3D-принтер создает структуру). Область нанолитографии возникла из-за необходимости увеличения количества транзисторов в интегральной схеме для соблюдения закона Мура. Хотя литографические методы используются с конца 18 века, ни один из них не применялась к наноразмерным структурам до середины 1950-х годов. С развитием полупроводниковой промышленности резко вырос спрос на технологии, позволяющие создавать микро- и наноразмерные структуры. Фотолитография была впервые применена к этим структурам в 1958 году, когда наступила эпоха нанолитографии. С тех пор фотолитография стала наиболее коммерчески успешной техникой, способной производить шаблоны с особенностями менее 100 нанометров. Существует несколько методов, связанных с этой областью, каждый из которых предназначен для различных целей в медицинской и полупроводниковой промышленности. Прорывы в этой области вносят значительный вклад в развитие нанотехнологий и приобретают все большее значение сегодня, когда растет спрос на все меньшие и меньшие компьютерные микросхемы. Дальнейшие области исследований касаются физических ограничений поля, сбора энергии и фотоники.
xsd:nonNegativeInteger
14979