Evaporation (deposition)
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Evaporation is a common method of thin-film deposition. The source material is evaporated in a vacuum. The vacuum allows vapor particles to travel directly to the target object (substrate), where they condense back to a solid state. Evaporation is used in microfabrication, and to make macro-scale products such as metallized plastic film.
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L'évaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisée notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide.
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Evaporação térmica (ou deposição de vapor) é o método de recobrimento de superfícies por um filme fino metálico. O material fonte, não refratário (baixo ponto de fusão), é geralmente, evaporado numa câmara de alto-vácuo. O material é aquecido num cadinho e se evapora depositando-se nos substratos alvo e nas paredes da câmara.
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Термическое напыление (также известное как термическое испарение) — широко распространённый метод вакуумного напыления. Исходный материал испаряется в вакууме. Вакуум позволяет частицам пара конденсироваться непосредственно на напыляемом изделии (подложке). Термическое напыление используется в микротехнологии и для изготовления таких изделий, как металлизированная пластиковая плёнка или тонированные стёкла.
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Thermisches Verdampfen (auch Aufdampfen oder Bedampfen, engl. thermal evaporation) ist ein zu den PVD-Verfahren gehörende hoch vakuumbasierte Beschichtungstechnik. Dabei handelt es sich um ein Verfahren, bei der das gesamte Ausgangsmaterial durch eine elektrische Heizung (resisitiv oder induktiv) auf Temperaturen in der Nähe des Siedepunkts erhitzt wird, sich ein Materialdampf zu einem Substrat bewegt und dort zu einer Schicht kondensiert. Es stellt damit eines der einfachsten Verdampfungsverfahren in der Beschichtungstechnik dar.
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Deposició per evaporació
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Thermisches Verdampfen
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Evaporation (deposition)
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Évaporation sous vide
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Deposição de vapor
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Термическое напыление
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Thermisches Verdampfen (auch Aufdampfen oder Bedampfen, engl. thermal evaporation) ist ein zu den PVD-Verfahren gehörende hoch vakuumbasierte Beschichtungstechnik. Dabei handelt es sich um ein Verfahren, bei der das gesamte Ausgangsmaterial durch eine elektrische Heizung (resisitiv oder induktiv) auf Temperaturen in der Nähe des Siedepunkts erhitzt wird, sich ein Materialdampf zu einem Substrat bewegt und dort zu einer Schicht kondensiert. Es stellt damit eines der einfachsten Verdampfungsverfahren in der Beschichtungstechnik dar. Im erweiterten Sinn wird das thermische Verdampfen als eine Gruppe von PVD-Verfahren verstanden, bei denen das Ausgangsmaterial auf verschiedene Weisen erhitzt wird. Zu dieser Gruppe gehören beispielsweise Verdampfungsmethoden mittels Laser, Elektronenstrahlen oder einem Lichtbogen. Auch die Molekularstrahlepitaxie gehört zu dieser Gruppe. Hingegen werden Verfahren bei denen der Materialdampf nachträglich durch ein Plasma modifiziert wird, wie beim Ionenplattieren, nicht zur Gruppe der Verdampfungsverfahren gezählt.
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Evaporation is a common method of thin-film deposition. The source material is evaporated in a vacuum. The vacuum allows vapor particles to travel directly to the target object (substrate), where they condense back to a solid state. Evaporation is used in microfabrication, and to make macro-scale products such as metallized plastic film.
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L'évaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisée notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide.
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Evaporação térmica (ou deposição de vapor) é o método de recobrimento de superfícies por um filme fino metálico. O material fonte, não refratário (baixo ponto de fusão), é geralmente, evaporado numa câmara de alto-vácuo. O material é aquecido num cadinho e se evapora depositando-se nos substratos alvo e nas paredes da câmara.
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Термическое напыление (также известное как термическое испарение) — широко распространённый метод вакуумного напыления. Исходный материал испаряется в вакууме. Вакуум позволяет частицам пара конденсироваться непосредственно на напыляемом изделии (подложке). Термическое напыление используется в микротехнологии и для изготовления таких изделий, как металлизированная пластиковая плёнка или тонированные стёкла.
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